Le CEA est un acteur majeur de la recherche, au service des citoyens, de l'économie et de l'Etat.
Il apporte des solutions concrètes à leurs besoins dans quatre domaines principaux : transition énergétique, transition numérique, technologies pour la médecine du futur, défense et sécurité sur un socle de recherche fondamentale. Le CEA s'engage depuis plus de 75 ans au service de la souveraineté scientifique, technologique et industrielle de la France et de l'Europe pour un présent et un avenir mieux maîtrisés et plus sûrs.
Implanté au coeur des territoires équipés de très grandes infrastructures de recherche, le CEA dispose d'un large éventail de partenaires académiques et industriels en France, en Europe et à l'international.
Les 20 000 collaboratrices et collaborateurs du CEA partagent trois valeurs fondamentales :
- La conscience des responsabilités
- La coopération
- La curiosité
Notre contexte
L'évolution de la salle blanche au CEA-Leti a amené à l'utilisation d'une nouvelle génération de Front-Opening Unified Pod (FOUP), containers permettant de traiter les plaquettes de silicium 300 mm sur les équipements. Ces FOUPs purgeables, vont être utilisés sur la ligne pilote FAMES au CEA-Leti et vont permettre de relâcher les contraintes d'enchainements entre les opérations (Qtime). Les paramètres optimums pour le stockage des plaques seront à définir, à tester et à analyser pour déterminer leurs impacts sur nos lignes de production et produits.
Nous rejoindre pourquoi faire?
Vous serez intégré(e) à une équipe de recherche et de développement au sein du LLAM, ayant pour but de comprendre les vecteurs de dissémination de la contamination dans les salles blanches et ses impacts sur les dispositifs microélectroniques au CEA-Leti.
Vous aurez pour mission de :
Mener des études sur la contamination croisée dans un FOUP purgé
Obtenir des conditions optimales pour le stockage des plaques en fonction des différentes étapes de process, notamment la lithographie, la gravure, le dépôt de couche mince, le collage, etc.
Créer un protocole de stockage des plaques dans des FOUP purgés pour limiter la contamination croisée entre plaques et relâcher les contraintes d'enchainement entre 2 étapes de process
Développer un système innovant de dégazage des plaques 300 mm avec un contrôle de température pour étudier les contaminants volatils
Mettre en place des mesures expérimentales et analyser les résultats obtenus
Analyser les données de contamination métallique, particulaire, organique et ionique sur des plaques de 300 mm
Vous valoriserez les résultats obtenus via des participations à des conférences internationales, la rédaction d'articles et le dépôt de brevets.
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