Mission :
Développement de nouvelles couches sensibles à base de films minces d'oxyde pouvant être intégrés dans des micro-capteurs de gaz. La mesure se fera par variation de résistance électrique en fonction de différentes teneurs en gaz cibles pour diverses applications. Les propriétés de détection des couches sensibles par rapport au gaz cible seront optimisées en faisant varier les paramètres de préparation et les cycles de température lors des tests de détection.
Activités :
Les propriétés électriques des couches minces seront déterminées sur des véhicules de test simplifiés. Les tests seront réalisés dans un enceinte spécifique reliée à un banc de dilution. La cellule comporte des pointes de mesures reliées à une unité Source-Mesure. Les tests seront réalisés de manière à optimiser la température de mesure pour divers gaz et sous des humidités variables. Les résultats devront être traités et présentés de manière synthétique.
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