Ingénieur de recherche : (h/f) fabrication de fils d’algan et de gan pour la réalisation de sources bétavoltaiques

Ce travail s'inscrit dans le cadre du projet ANR NOBEL de l’AAPG 2023 qui rassemble 4 partenaires : le LTM/CNRS, le pheliqs/CEA, l’institut Néel/CNRS et le CREAH/CNRS. La finalité du projet est la fabrication de sources bétavoltaiques en utilisant une nouvelle architecture filaire dite cœur-coquille qui permettrait de surmonter les limitations de rendements des sources bétavoltaiques existantes. L’objectif du contrat est l’élaboration de nanofils de GaN ou d’AlGaN à fort facteur de forme en utilisant une approche top down, cette étape étant clé dans l’intégration. Ces fils seront ensuite exploités par les partenaires du projet qui réaliseront les étapes technologiques suivantes pour la fabrication de la source bétavoltaique


Activités

Le travail sera réalisé sur les réacteurs de gravure 200 et 300mm du LTM localisés dans les salles blanches du CEA/Leti. Il s’agira de :
1) Créer le design lithographique adapté aux besoins (GDS)
2) Développer/optimiser des procédés de gravure plasma de fils d’AlGaN et de GaN à fort facteur de forme
3) Appliquer des traitements humides à base de KOH pour restaurer les surfaces des fils gravés
4) Caractériser les procédés morphologiquement (SEM, FIB-STEM, AFM)
5) Faire l’interface avec les autres équipes du projet


Compétences

Compétences techniques requises: Capable de modifier un GDS (avec Klayout), Procédés de gravure plasma (RIE) et gravure humide, Microscopie électronique
Autres compétences: anglais écrit/parlé


Contexte de travail

Ce travail sera effectué au Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM), unité mixte de recherche du CNRS et de l'Université Grenoble Alpes (UGA) (UMR 5129) situé sur le site du CEA-LETI-MINATEC à Grenoble. Une centaine de personnes travaillent au LTM : 30 Chercheurs ou enseignants chercheurs, 18 Ingénieurs et Techniciens, 31 doctorants et 16 post doc. Les activités du laboratoire se positionnent à la frontière entre recherche académique amont et recherche industrielle. Le LTM a ainsi développé au fil des années plusieurs partenariats directs avec différents acteurs de l'industrie micro/nanoélectronique notamment STMicroelectroniques à Crolles et Applied Materials à SAnta Clara (USA). Le candidat rejoindra l’équipe « PROSPECT » du LTM. Cette équipe vise le développement de procédés et matériaux innovants pour les dispositifs avancés de la nano/optoélectronique.

Ce travail sera effectué au Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM), unité mixte de recherche du CNRS et de l'Université Grenoble Alpes (UGA) (UMR 5129) situé sur le site du CEA-LETI-MINATEC à Grenoble. Une centaine de personnes travaillent au LTM : 30 Chercheurs ou enseignants chercheurs, 18 Ingénieurs et Techniciens, 31 doctorants et 16 post doc. Les activités du laboratoire se positionnent à la frontière entre recherche académique amont et recherche industrielle. Le LTM a ainsi développé au fil des années plusieurs partenariats directs avec différents acteurs de l'industrie micro/nanoélectronique notamment STMicroelectroniques à Crolles et Applied Materials à SAnta Clara (USA). Le candidat rejoindra l’équipe « PROSPECT » du LTM. Cette équipe vise le développement de procédés et matériaux innovants pour les dispositifs avancés de la nano/optoélectronique.


Contraintes et risques

Néant

Néant